文献
J-GLOBAL ID:200902190320930028
整理番号:93A0897920
In situ ellipsometry of soft X-ray multilayer fabrication.
著者 (2件):
YAMAMOTO M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ARAI A
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
233
号:
1/2
ページ:
268-271
発行年:
1993年10月12日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)