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文献
J-GLOBAL ID：200902190353230943
整理番号：96A0299887
GaNの室温における光促進湿式エッチング
Room-temperature photoenhanced wet etching of GaN.
MINSKY M S
(Univ. California, California)
,
WHITE M
(Univ. California, California)
,
HU E L
(Univ. California, California)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 68 号： 11 ページ： 1531-1533 発行年： 1996年03月11日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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