文献
J-GLOBAL ID:200902190774715830
整理番号:97A1006178
シリコン圧電抵抗圧力センサの最適設計のための考察
Optimum design considerations for silicon piezoresistive pressure sensors.
著者 (2件):
KANDA Y
(Toyo Univ., Kawagoe, JPN)
,
YASUKAWA A
(Hitachi Ltd., Tsuchiura, JPN)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
A62
号:
1/3
ページ:
539-542
発行年:
1997年07月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)