文献
J-GLOBAL ID:200902191198067271
整理番号:01A1033612
ナノ押込による薄膜の機械特性の測定に関する数値研究
Numerical study on the measurement of thin film mechanical properties by means of nanoindentation.
著者 (2件):
CHEN X
(Harvard Univ., Massachusetts)
,
VLASSAK J J
(Harvard Univ., Massachusetts)
資料名:
Journal of Materials Research
(Journal of Materials Research)
巻:
16
号:
10
ページ:
2974-2982
発行年:
2001年10月
JST資料番号:
D0987B
ISSN:
0884-2914
CODEN:
JMREEE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)