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文献
J-GLOBAL ID：200902191647868977
整理番号：99A0075172
‘スタービングプラズマ’状態においてPECVDで作製したa-Si1-xCx:HのN型ドーピング
N-type doping in PECVD a-Si1-xCx:H obtained under ‘starving plasma’ condition.
CARRENO M N P
(USP, SP, BRA)
,
PEREYRA I
(USP, SP, BRA)
,
PERES H E M
(USP, SP, BRA)
資料名：
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻： 227/230 号： Pt.A ページ： 483-487 発行年： 1998年05月
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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