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文献
J-GLOBAL ID：200902192018798873
整理番号：98A0608025
薄膜形状記憶合金の作動マイクロポンプ
Thin-Film Shape-Memory Alloy Actuated Micropumps.
BENARD W L
(Case Western Reserve Univ., OH, USA)
,
KAHN H
(Case Western Reserve Univ., OH, USA)
,
HEUER A H
(Case Western Reserve Univ., OH, USA)
,
HUFF M A
(Case Western Reserve Univ., OH, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 7 号： 2 ページ： 245-251 発行年： 1998年06月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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