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文献
J-GLOBAL ID：200902192274506570
整理番号：01A0758378
インプリントリソグラフィー用のモールドの表面処理
Mold Surface Treatment for Imprint Lithography.
HIRAI Y
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
YOSHIDA S
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
OKAMOTO A
(Technol. Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
,
TANAKA Y
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
ENDO M
(Matsushita Electronics Corp., Kyoto, JPN)
,
IRIE S
(Matsushita Electronics Corp., Kyoto, JPN)
,
NAKAGAWA H
(Matsushita Electronics Corp., Kyoto, JPN)
,
SASAGO M
(Matsushita Electronics Corp., Kyoto, JPN)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 14 号： 3 ページ： 457-462 発行年： 2001年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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