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文献
J-GLOBAL ID：200902192407058699
整理番号：00A0466862
化学蒸着膜の優先配向を予測するモデル
A Model for Predicting Preferential Orientation of Chemical-Vapor-Deposited Films.
NISHIOKA K
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
MIZUTANI N
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KOMIYAMA H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 147 号： 4 ページ： 1440-1442 発行年： 2000年04月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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