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文献
J-GLOBAL ID：200902192486713400
整理番号：01A0766714
自己集合したエーロゲル状低誘電率膜
Self-assembled aerogel-like low dielectric constant films.
FAN H
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
BENTLEY H R
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
KATHAN K R
(Univ. New Mexico, NM, USA)
,
CLEM P
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
LU Y
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
BRINKER C J
(Sandia National Lab., NM, USA)
資料名：
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻： 285 号： 1/3 ページ： 79-83 発行年： 2001年06月
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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