文献
J-GLOBAL ID:200902192560615343
整理番号:93A0653706
InxGa1-xAsおよびInyAl1-yAsエピ層の組成を高分解能X線回折で測定するための最適の厚さ
Optimal epilayer thickness for InxGa1-xAs and InyAl1-yAs composition measurement by high-resolution x-ray diffraction.
著者 (2件):
BENNETT B R
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
DEL ALAMO J A
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
73
号:
12
ページ:
8304-8308
発行年:
1993年06月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)