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文献
J-GLOBAL ID：200902192612127911
整理番号：99A0587165
Ti1-xSixNy膜の物理的,構造的及び機械的評価
Physical, structural and mechanical characterization of Ti1-xSixNy films.
VAZ F
(Univ. Minho, Guimaraes, PRT)
,
REBOUTA L
(Univ. Minho, Guimaraes, PRT)
,
RAMOS S
(Univ. Coimbra, Coimbra, PRT)
,
DA SILVA M F
(ITN, Sacav<span style=text-decoration:overline> ́e</span>m, PRT)
,
SOARES J C
(CFNUL, Lisboa, PRT)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 108/109 号： 1/3 ページ： 236-240 発行年： 1998年10月10日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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