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文献
J-GLOBAL ID：200902192733864204
整理番号：97A0704623
テラヘルツHall効果による半導体ウエハの非接触評価
Noncontact semiconductor wafer characterization with the terahertz Hall effect.
MITTLEMAN D M
(Bell Lab., New Jersey)
,
CUNNINGHAM J
(Bell Lab., New Jersey)
,
NUSS M C
(Bell Lab., New Jersey)
,
GEVA M
(Lucent Technol. Microelectronics, Pennsylvania)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 71 号： 1 ページ： 16-18 発行年： 1997年07月07日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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