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文献
J-GLOBAL ID：200902192828003419
整理番号：93A0808342
干渉分光法を用いた深度測定に対する半導体溝における光波の遅延特性
Delay Properties of Optical Wave in Semiconductor Trench for Depth Measurement Using Interference Spectroscopy.
SHIRASAKI H
(Tamagawa Univ., Machida)
,
KONDO N
(Dainippon Screen Manufacturing Co., Ltd., Kyoto)
,
ABEMATSU A
(Dainippon Screen Manufacturing Co., Ltd., Kyoto)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 32 号： 8 ページ： 3502-3506 発行年： 1993年08月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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