文献
J-GLOBAL ID:200902192903593740
整理番号:93A0879119
シリコン結晶中の酸化物析出物のモルフォロジー
Morphology of Oxide Precipitates in Silicon Crystals.
著者 (1件):
AOKI S
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Materials Transactions, JIM(Japan Institute of Metals)
(Materials Transactions, JIM(Japan Institute of Metals))
巻:
34
号:
9
ページ:
746-752
発行年:
1993年09月
JST資料番号:
G0668A
ISSN:
0916-1821
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)