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文献
J-GLOBAL ID：200902193029887556
整理番号：99A0694458
Na2Seを加えたCuInSe2ターゲットのRFスパッタリングにより作製した膜の性質に対する基板温度の効果
Effect of substrate temperature on properties of thin films prepared by RF sputtering from CuInSe2 target with Na2Se.
TANAKA T
(Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN)
,
YAMAGUCHI T
(Wakayama Coll. Technol., Gobo, JPN)
,
WAKAHARA A
(Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN)
,
YOSHIDA A
(Toyohashi Univ. Technol., Toyohashi, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 343/344 ページ： 320-323 発行年： 1999年04月
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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