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文献
J-GLOBAL ID：200902193088356408
整理番号：00A0221974
電子シャワーによるFeNx及びFe/FeNx多層膜の低温作製
Low-Temperature Preparation of FeNx and Fe/FeNx Multilayer by Electron Shower.
YUMOTO H
(Sci. Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
,
SUZUKI M
(Sci. Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
,
LI S J
(Sci. Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
,
TSUCHIYA T
(Sci. Univ. Tokyo, Chiba, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 39 号： 1 ページ： 207-211 発行年： 2000年01月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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