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文献
J-GLOBAL ID：200902193261124003
整理番号：93A0714737
クリーンルーム内蝶番からの金属発塵の抑制
Control of metallic particles generated from hinge in Clean room.
竹迫清之
(シーエル研)
,
晴まき満
(北関東シーアイシー研)
,
金田史夫
(カネタ商会)
,
上村裕
(公衆衛生院)
,
木村晶伸
(公衆衛生院)
,
山崎省二
(公衆衛生院)
資料名：
空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集
(空気清浄とコンタミネーションコントロール研究に関する技術研究大会予稿集)
巻： 12th ページ： 219-222 発行年： 1993年04月
JST資料番号： Y0789A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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