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文献
J-GLOBAL ID：200902194288762938
整理番号：97A0560280
ULSIメモリへの強誘電体材料の適用
Application of the ferroelectric materials to ULSI memories.
TARUI Y
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
HIRAI T
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
TERAMOTO K
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
KOIKE H
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
,
NAGASHIMA K
(Waseda Univ., Tokyo, JPN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 113/114 ページ： 656-663 発行年： 1997年04月
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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