文献
J-GLOBAL ID:200902194352919285
整理番号:97A0152511
低温の四面体非晶質炭素膜の作成と特性
Fabrication and properties of low-temperature tetrahedral amorphous carbon films.
著者 (3件):
KON’KOV O I
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
,
TERUKOV E I
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
,
TRAPEZNIKOVA I N
(A.F. Ioffe Physicotechnical Inst., Russian Acad. Sci., St. Petersburg, RUS)
資料名:
Semiconductors
(Semiconductors)
巻:
30
号:
12
ページ:
1138-1139
発行年:
1996年12月
JST資料番号:
T0093A
ISSN:
1063-7826
CODEN:
SMICES
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)