文献
J-GLOBAL ID:200902194854359607
整理番号:97A0929487
ナノ構造のためのリソグラフィー手段としての走査プローブ
Scanning probes as a lithography tool for nanostructures.
著者 (1件):
QUATE C F
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名:
Surface Science
(Surface Science)
巻:
386
号:
1/3
ページ:
259-264
発行年:
1997年10月01日
JST資料番号:
C0129B
ISSN:
0039-6028
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)