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文献
J-GLOBAL ID:200902194854359607   整理番号:97A0929487

ナノ構造のためのリソグラフィー手段としての走査プローブ

Scanning probes as a lithography tool for nanostructures.
著者 (1件):
QUATE C F
(Stanford Univ., CA, USA)

資料名:
Surface Science  (Surface Science)

巻: 386  号: 1/3  ページ: 259-264  発行年: 1997年10月01日 
JST資料番号: C0129B  ISSN: 0039-6028  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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