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文献
J-GLOBAL ID：200902195088088830
整理番号：98A0506622
Si 2pサブオキサイドによるSi(100)初期酸化モデル
Time evolutions of Si 2p suboxide during thermal oxidation of Si(100).
宮西康至
(東北大 電通研)
,
遠田義晴
(東北大 電通研)
,
入町秀樹
(東北大 電通研)
,
末光真希
(東北大 電通研)
,
庭野道夫
(東北大 電通研)
,
宮本信雄
(東北学院大 工)
,
繁政英治
(KEK PF)
,
加藤博雄
(KEK PF)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 45th 号： 2 ページ： 857 発行年： 1998年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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