文献
J-GLOBAL ID:200902195311697339
整理番号:93A0597493
平行板プラズマ反応器内の電流振動
Electric current oscillations in a parallel-plate plasma reactor.
著者 (3件):
SEEBOECK R J
(Siemens Forschungslaboratorien, Erlangen, DEU)
,
DEUTSCH R
(Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)
,
RAEUCHLE E
(Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
11
号:
3
ページ:
682-688
発行年:
1993年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)