文献
J-GLOBAL ID:200902195365878665
整理番号:01A0462650
微細加工されたシリコンモールドを使った炭化けい素のマイクロ反応焼結
Silicon Carbide Micro-Reaction-Sintering Using Micromachined Silicon Molds.
著者 (5件):
TANAKA S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SUGIMOTO S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
LI J-F
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
WATANABE R
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
ESASHI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
10
号:
1
ページ:
55-61
発行年:
2001年03月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)