文献
J-GLOBAL ID:200902195599974226
整理番号:95A0793692
Micro focusing optical device using piezoelectric thin film actuator.
著者 (7件):
GOTO H
(OMRON Corp., Ibaraki, JPN)
,
WAKABAYASHI S
(OMRON Corp., Ibaraki, JPN)
,
IKEDA M
(OMRON Corp., Ibaraki, JPN)
,
SAKATA M
(OMRON Corp., Ibaraki, JPN)
,
IMANAKA K
(OMRON Corp., Ibaraki, JPN)
,
TAKEUCHI M
(OMRON Corp., Ibaraki, JPN)
,
YADA T
(OMRON Corp., Ibaraki, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
2383
ページ:
136-143
発行年:
1995年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)