文献
J-GLOBAL ID:200902195662492040
整理番号:95A0133426
コンパクタを用いた位相シフトマスクの設計法
Method of Designing Phase-Shifting Masks Utilizing a Compactor.
著者 (3件):
OOI K
(Toshiba Corp., Kawasaki)
,
KOYAMA K
(Toshiba Corp., Kawasaki)
,
KIRYU M
(Toshiba Micro Electronics Corp., Kawasaki)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
33
号:
12B
ページ:
6774-6778
発行年:
1994年12月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)