文献
J-GLOBAL ID:200902195822903042
整理番号:93A0841001
シリコンのマイクロマシニングとマイクロマシン
Silicon micromachining and micromachines.
著者 (1件):
ESASHI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Wear
(Wear)
巻:
168
号:
1/2
ページ:
181-187
発行年:
1993年09月01日
JST資料番号:
E0377A
ISSN:
0043-1648
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)