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文献
J-GLOBAL ID：200902195947007189
整理番号：93A0517810
マイクロマシニングによる静電型リニアアクチュエータの開発 (第1報) アクチュエータの試作
大坪義一
(神戸大)
,
田尻和弘
(川崎重工業)
,
田所諭
(神戸大)
,
高森年
(神戸大)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1993 号： Spring 2 ページ： 733-734 発行年： 1993年03月
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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