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文献
J-GLOBAL ID：200902196208876418
整理番号：02A0625602
Fourier解析を用いたカリキサレン微細パターンにおけるラインエッジ粗さの研究
Investigating Line-Edge Roughness in Calixarene Fine Patterns Using Fourier Analysis.
ISHIDA M
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
KOBAYASHI K
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
FUJITA J
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
OCHIAI Y
(NEC Fundamental Res. Lab., Tsukuba, JPN)
,
YAMAMOTO H
(Tokuyama Corp., Tsukuba, JPN)
,
TONO S
(Tokuyama Corp., Tsukuba, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41 号： 6B ページ： 4228-4232 発行年： 2002年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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