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文献
J-GLOBAL ID：200902196224008264
整理番号：01A1036248
ULSI用の極微細銅細線導体における抵抗率増加
Resistivity Increase in Ultrafine-Line Copper Conductor for ULSIs.
HINODE K
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
HANAOKA Y
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
TAKEDA K
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
KONDO S
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 40 号： 10B ページ： L1097-L1099 発行年： 2001年10月15日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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