文献
J-GLOBAL ID:200902196299546679
整理番号:94A0461347
大規模プラズマ源イオン注入の初期実験
Initial operation of a large-scale plasma source ion implantation experiment.
著者 (7件):
WOOD B P
(Los Alamos National Lab., New Mexico)
,
HENINS I
(Los Alamos National Lab., New Mexico)
,
GRIBBLE R J
(Los Alamos National Lab., New Mexico)
,
REASS W A
(Los Alamos National Lab., New Mexico)
,
FAEHL R J
(Los Alamos National Lab., New Mexico)
,
NASTASI M A
(Los Alamos National Lab., New Mexico)
,
REJ D J
(Los Alamos National Lab., New Mexico)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
12
号:
2
ページ:
870-874
発行年:
1994年03月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)