文献
J-GLOBAL ID:200902196373822128
整理番号:93A0513703
拡散反応によるCVDダイヤモンド薄膜の薄膜化とパターン形成
Thinning and patterning of CVD diamond films by diffusional reaction.
著者 (4件):
JIN S
(AT & T Bell Lab., NJ, USA)
,
GRAEBNER J E
(AT & T Bell Lab., NJ, USA)
,
TIEFEL T H
(AT & T Bell Lab., NJ, USA)
,
KAMMLOTT G W
(AT & T Bell Lab., NJ, USA)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
2
号:
5/7
ページ:
1038-1042
発行年:
1993年04月13日
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)