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文献
J-GLOBAL ID:200902196374108224   整理番号:01A0588102

TEM,SEM,STEM,AESおよびSIMS分析への集束イオンビーム・リフトアウト試料調製の応用

Application of focused ion beam lift-out specimen preparation to TEM, SEM, STEM, AES and SIMS analysis.
著者 (9件):
STEVIE F A
(Lucent Technol., FL, USA)
VARTULI C B
(Lucent Technol., FL, USA)
GIANNUZZI L A
(Univ. Central Florida, FL, USA)
SHOFNER T L
(Lucent Technol., FL, USA)
BROWN S R
(Lucent Technol., FL, USA)
ROSSIE B
(Lucent Technol., FL, USA)
HILLION F
(CAMECA, Courbevoie, FRA)
MILLS R H
(Lucent Technol., FL, USA)
PURCELL B M
(Lucent Technol., FL, USA)

資料名:
Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)

巻: 31  号:ページ: 345-351  発行年: 2001年05月 
JST資料番号: E0709A  ISSN: 0142-2421  CODEN: SIANDQ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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