文献
J-GLOBAL ID:200902196374108224
整理番号:01A0588102
TEM,SEM,STEM,AESおよびSIMS分析への集束イオンビーム・リフトアウト試料調製の応用
Application of focused ion beam lift-out specimen preparation to TEM, SEM, STEM, AES and SIMS analysis.
著者 (9件):
STEVIE F A
(Lucent Technol., FL, USA)
,
VARTULI C B
(Lucent Technol., FL, USA)
,
GIANNUZZI L A
(Univ. Central Florida, FL, USA)
,
SHOFNER T L
(Lucent Technol., FL, USA)
,
BROWN S R
(Lucent Technol., FL, USA)
,
ROSSIE B
(Lucent Technol., FL, USA)
,
HILLION F
(CAMECA, Courbevoie, FRA)
,
MILLS R H
(Lucent Technol., FL, USA)
,
PURCELL B M
(Lucent Technol., FL, USA)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
31
号:
5
ページ:
345-351
発行年:
2001年05月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)