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文献
J-GLOBAL ID：200902196386619054
整理番号：93A0761623
Implant-damage isolation of InP and InGaAsP.
AKANO U G
(Univ. Western Ontario, Ontario, CAN)
,
MITCHELL I V
(Univ. Western Ontario, Ontario, CAN)
,
SHEPHERD F R
(Bell-Northern Research, Ontario, CAN)
,
MINER C J
(Bell-Northern Research, Ontario, CAN)
,
ROUSINA R
(Bell-Northern Research, Ontario, CAN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 11 号： 4 Pt 1 ページ： 1016-1021 発行年： 1993年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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