文献
J-GLOBAL ID:200902196559435876
整理番号:93A0404656
Alイオン注入6H-SiC単結晶の評価
Evaluation of Al ion implanted 6H-SiC single crystals.
著者 (6件):
NAKATA T
(Ion Engineering Research Inst. Corp., Osaka, JPN)
,
MIZUTANI Y
(Ion Engineering Research Inst. Corp., Osaka, JPN)
,
MIKODA M
(Ion Engineering Research Inst. Corp., Osaka, JPN)
,
WATANABE M
(Ion Engineering Research Inst. Corp., Osaka, JPN)
,
TAKAGI T
(Ion Engineering Research Inst. Corp., Osaka, JPN)
,
NISHINO S
(Kyoto Inst. Technology, Kyoto, JPN)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
74
号:
1/2
ページ:
131-133
発行年:
1993年04月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)