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文献
J-GLOBAL ID：200902196716268083
整理番号：97A0416323
ナノ結晶ダイヤモンド薄膜の成長に及ぼす製造条件の影響 リアルタイムな分光エリプソメトリーによる研究
Effects of processing conditions on the growth of nanocrystalline diamond thin films: real time spectroscopic ellipsometry studies.
HONG B
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
LEE J
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
COLLINS R W
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
KUANG Y
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
DRAWL W
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
MESSIER R
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
TSONG T T
(Acad. Sinica, Taipei, TWN)
,
STRAUSSER Y E
(Digital Instruments, CA, USA)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 6 号： 1 ページ： 55-80 発行年： 1997年01月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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