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文献
J-GLOBAL ID：200902197064915029
整理番号：97A1046393
マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作
Development of Micro Capacitive Accelerometer for Subsurface Microseismic Measurement.
西沢充智
(東北大 大学院)
,
新妻弘明
(東北大 大学院)
,
江刺正喜
(東北大 大学院)
資料名：
物理探査学会学術講演会講演論文集
(Proceedings of the SEGJ Conference)
巻： 96th ページ： 35-38 発行年： 1997年05月
JST資料番号： L2581A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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