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文献
J-GLOBAL ID：200902197559342394
整理番号：96A0361799
物質プロセシングのためのK-C60プラズマの生成と制御
Production and control of K-C60 plasma for material processing.
HIRATA T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
HATAKEYAMA R
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
MIENO T
(Shizuoka Univ., Shizuoka, JPN)
,
SATO N
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 14 号： 2 ページ： 615-618 発行年： 1996年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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