文献
J-GLOBAL ID:200902197586423908
整理番号:95A0062433
高強度パルス化イオンビーム蒸着によるダイヤモンド類似炭素薄膜の製作
Preparation of diamondlike carbon films by high-intensity pulsed-ion-beam deposition.
著者 (9件):
JOHNSTON G P
(Los Alamos National Lab., New Mexico)
,
TIWARI P
(Los Alamos National Lab., New Mexico)
,
SCHMIDT H K
(SI Diamond Technology Inc., Texas)
,
KUMAR N
(SI Diamond Technology Inc., Texas)
,
LIN B
(SI Diamond Technology Inc., Texas)
,
TALLANT D R
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
SIMPSON R L
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
WILLIAMS D B
(Lehigh Univ., Pennsylvania)
,
QIU X
(Univ. New Mexico, New Mexico)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
76
号:
10 Pt 1
ページ:
5949-5954
発行年:
1994年11月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)