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J-GLOBAL ID：200902197680084505 整理番号：03A0179939

多結晶SiC共振器も作成およびキャラクタリゼーション

Fabrication and Characterization of Polycrystalline SiC Resonators.

著者 (4件)：

ROY S

(Cleveland Clinic Foundation, OH, USA)

DEANNA R G

(NASA Glenn Res. Center at Lewis Field, OH, USA)

ZORMAN C A

(Case Western Reserve Univ., OH, USA)

MEHREGANY M

(Case Western Reserve Univ., OH, USA)

資料名：

IEEE Transactions on Electron Devices (IEEE Transactions on Electron Devices)

巻： 49 号： 12 ページ： 2323-2332 発行年： 2002年12月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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