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文献
J-GLOBAL ID：200902197701951069
整理番号：94A0146339
高融点金属の高安定蒸発のための小型電子銃蒸発源
A compact electron-gun evaporation source for highly stable evaporation of refractory metals.
BEAG Y W
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
EGAWA K
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SHIMIZU R
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 64 号： 12 ページ： 3647-3648 発行年： 1993年12月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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