文献
J-GLOBAL ID:200902197814685527
整理番号:93A0401110
真空ポンプのガス流量限界
Gas flow limits of vacuum pumps.
著者 (1件):
HABLANIAN M H
(Varian Vacuum Products, Mass)
資料名:
Semiconductor International
(Semiconductor International)
巻:
16
号:
3
ページ:
64-66
発行年:
1993年03月
JST資料番号:
D0457B
ISSN:
0163-3767
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)