文献
J-GLOBAL ID:200902198512466016
整理番号:02A0327611
太陽電池応用のための窒化けい素膜の高密度プラズマ化学蒸着による調製
Silicon nitride films prepared by high-density plasma chemical vapor deposition for solar cell applications.
著者 (3件):
LEE S H
(Samsung SDI, Suwon, KOR)
,
LEE I
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
,
YI J
(Sungkyunkwan Univ., Suwon, KOR)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
153
号:
1
ページ:
67-71
発行年:
2002年04月01日
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)