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文献
J-GLOBAL ID：200902198627938469
整理番号：94A0098110
反応性スパッタTiO2薄膜成長における加熱探針の効果
Effect of Heating Probe on Reactively Sputtered TiO2 Film Growth.
SHIBATA A
(Fukui National Coll. Technology, Fukui)
,
OKIMURA K
(Fukui National Coll. Technology, Fukui)
,
YAMAMOTO Y
(Fukui National Coll. Technology, Fukui)
,
MATUBARA K
(Yamaguchi Univ., Yamaguti)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 32 号： 12A ページ： 5666-5670 発行年： 1993年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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