文献
J-GLOBAL ID:200902198648362796
整理番号:93A0478022
融液成長中のシリコン結晶内の点欠陥の拡散 II 一拡散体模型
Diffusion of Point Defects in Silicon Crystals during Melt-Growth. II. One Diffusor Model.
著者 (4件):
HABU R
(Nippon Steel Corp., Kawasaki)
,
KOJIMA K
(NSC Electron Corp., Yamaguchi)
,
HARADA H
(NSC Electron Corp., Yamaguchi)
,
TOMIURA A
(Nippon Steel Corp., Chiba)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
32
号:
4
ページ:
1747-1753
発行年:
1993年04月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)