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文献
J-GLOBAL ID：200902198686577844
整理番号：96A0129143
過酸化水素とヘキサフルオロアセチルアセトンを用いた銅の熱ドライエッチング
Thermal dry-etching of copper using hydrogen peroxide and hexafluoroacetylacetone.
JAIN A
(Univ. New Mexico, NM, USA)
,
KODAS T T
(Univ. New Mexico, NM, USA)
,
HAMPDEN-SMITH M J
(Univ. New Mexico, NM, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 269 号： 1/2 ページ： 51-56 発行年： 1995年11月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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