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文献
J-GLOBAL ID：200902198938309724
整理番号：00A0086137
誘導結合フルオロカーボンプラズマプロセシングにおける容量結合の効果
Effect of capacitive coupling on inductively coupled fluorocarbon plasma processing.
SCHAEPKENS M
(State Univ. New York, New York)
,
RUEGER N R
(State Univ. New York, New York)
,
BEULENS J J
(State Univ. New York, New York)
,
LI X
(State Univ. New York, New York)
,
STANDAERT T E F M
(State Univ. New York, New York)
,
MATSUO P J
(State Univ. New York, New York)
,
OEHRLEIN G S
(State Univ. New York, New York)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 17 号： 6 ページ： 3272-3280 発行年： 1999年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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