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文献
J-GLOBAL ID：200902198942895182
整理番号：02A0436135
強くn型のバルクSiにおける1個毎のドーパント原子とクラスタの原子スケール像形成
Atomic-scale imaging of individual dopant atoms and clusters in highly n-type bulk Si.
VOYLES P M
(Bell Lab., New Jersey, USA)
,
MULLER D A
(Bell Lab., New Jersey, USA)
,
GRAZUL J L
(Bell Lab., New Jersey, USA)
,
CITRIN P H
(Bell Lab., New Jersey, USA)
,
GOSSMANN H-J L
(Agere Systems, New Jersey, USA)
資料名：
Nature (London)
(Nature (London))
巻： 416 号： 6883 ページ： 826-829 発行年： 2002年04月25日
JST資料番号： D0193B ISSN： 0028-0836 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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