文献
J-GLOBAL ID:200902199142018236
整理番号:95A0818797
レーザ集束原子蒸着による二次元アレイのナノ加工
Nanofabrication of a two-dimensional array using laser-focused atomic deposition.
著者 (4件):
GUPTA R
(National Inst. Standards and Technol., Maryland)
,
MCCLELLAND J J
(National Inst. Standards and Technol., Maryland)
,
JABBOUR Z J
(National Inst. Standards and Technol., Maryland)
,
CELOTTA R J
(National Inst. Standards and Technol., Maryland)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
67
号:
10
ページ:
1378-1380
発行年:
1995年09月04日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)