文献
J-GLOBAL ID:200902199173257492
整理番号:96A0408749
Development of the Micromilling Process for High-Aspect-Ratio Microstructures.
著者 (2件):
FRIEDRICH C R
(Louisiana Tech Univ., LA, USA)
,
VASILE M J
(Louisiana Tech Univ., LA, USA)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
5
号:
1
ページ:
33-38
発行年:
1996年03月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)