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文献
J-GLOBAL ID：200902199310268189
整理番号：93A0936532
Analyse par diffraction des rayons X, de l’<span style=text-decoration:overline>e ́</span>volution des contraintes r<span style=text-decoration:overline>e ́</span>siduelles associ<span style=text-decoration:overline>e ́</span>e <span style=text-decoration:overline>a`</span> la gravure de lignes dans un d<span style=text-decoration:overline>e ́</span>p<span style=text-decoration:overline>o^</span>t mince de tungst<span style=text-decoration:overline>e`</span>ne CVD sur substrat de Si.
MANIGUET L
(ENSEEG, St. Martin d’H<span style=text-decoration:overline>e`</span>res)
,
IGNAT M
(ENSEEG, St. Martin d’H<span style=text-decoration:overline>e`</span>res)
,
DUPEUX M
(ENSEEG, St. Martin d’H<span style=text-decoration:overline>e`</span>res)
,
BACMANN J J
(CENG, Grenoble)
,
NORMANDON P
(France T<span style=text-decoration:overline>e ́</span>l<span style=text-decoration:overline>e ́</span>come-CNET, Meylan)
資料名：
Revue de Metallurgie. Cahiers d’Informations Techniques
(Revue de Metallurgie. Cahiers d'Informations Techniques)
巻： 90 号： 9 ページ： 1109 発行年： 1993年09月
JST資料番号： D0047A ISSN： 0035-1563 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： フランス (FRA) 言語： フランス語 (FR)
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